 크린룸 시스템
▶ 크린룸 설계
- 크린룸 설계의 유의점(Design Guileliness)
- 기류방식(Patterns of Air Flow)
층류식(수직.수평), 난류식, 혼류식, 터널식이 있고, 각각의 특징을 가지며, 사용목적을 고려하여 결정합니다.
- 청정도(Cleanliness Level)
크린룸의 청정도는 제품에 요구되는 정도에 의해 결정됩니다. 청정도 레벨은 기류방식, 환기횟수, 실내압력 등을 충분히 검토함으로써 달성됩니다.
- 계획(Lay-Out)
작업성을 고려하여 청정도를 만족하도록 Layout을 결정합니다. 먼지 발생이 많은 작업은 다른 작업과 격리합니다. 또 사람, 물건의 출입구, 통로 UTILITY, 유지보수등을 종합적으로 검토하는 것이 필요합니다.
- 구조, 재료(Structure & Materials)
가능한 한 실내 표면을 매끄럽게 해서 기류가 흐트러지거나 먼지가 쌓이지 않는 구조로 합니다.
먼지발생이 적을 뿐만 아니라 입자가 잘 부탁되지 않고 청소가 용이한 재료를 선택합니다.
작업내용에 따라 내약품성, 내습성, 내화성을 가진 재료를 사용하는 경우도 있습니다.
- 부속장치(Equipments)
크린룸을 구성하는 주변장치에는 먼지제어, 압력유지용에 AIR SHOWER(사람의 입출용), Pass Box(물건출입용), Safety Damper(실내압력조정용)등이 있고 물품, 포장들의 보관을 위한 클린 스토카, 클린락카 등이 있습니다.
따라서 각각 기능을 충분히 이해하지 않으면 안됩니다.
- 사람과 물건의 차이(Control of Working Persons and Materials)
작업자 외부에서 반입디는 물품은 최대의 발진원인입니다. 무진복과 화장의 문제 등을 포함하여 작업자는 크린룸화에 대한 기본지식이 필요합니다.
- 유틸리티(Utility)
급배수, 가스, 전기 등 에너지공급을 위한 장치는 기류방식, Layout의 Flexibility를 고려하여 결정하여야 합니다.
또 유지보수시에는 청정도 저하를 초래하지 않도록 주의할 필요가 있습니다.
- 안전대책과 비상설치(Safety & Emergency Plan)
크린룸은 밀폐구조이므로 화재, 가스누설 등에 대한 대책이 필요합니다. 또 정전에 의한 문제가 되는 장치는 비상전원설비를 갖추는 것을 검토할 필요가 있습니다.
Air-Llow
ITEMS |
수직층류방식
Vertical Laminar
Airflow Clean Room
|
수평층류방식
Horizontal Laminar
Airflow Clean Room
|
난류방식
Turbulent Airflow
Clean Room
|
클린튜브방식
Clean Tube
Clean Room
|
터널방식
Tunnel
Clean Room
|
| Cleanliness Level |
Class 1~100 |
Class 100 |
Class 1,000~100,000 |
Class 1 |
Class 1~100 |
Cleanliness Level
in operation |
작업자로부터
영향은 적다 |
상류발진이 하류에
영향을 미친다 |
작업자로부터
영향 있음 |
작업자로부터
영향 있음 |
작업자로부터
영향은 가장적다 |
| Initisl Cost |
High |
Middle |
Low |
Low |
Middle |
| Operating Cost |
High |
Middle |
Low |
Low |
Middle |
| Modification |
Easy |
Difficult |
Easy |
Difficult |
Difficult |
Maintenance of
Manufacturing
Machinery |
Easy |
Easy |
Easy |
Difficult |
Easy |
| Expansion |
Difficult |
Difficult |
Difficult but possible |
Difficult |
Easy |
| Air Handling whit Precise control |
실전체 제어를 위해 실내의 불균형 약간 있음 |
상류의 발진이 하류에 영향을 미친다 |
불균형 있음 |
고청장치 유지 |
작업부마다 고밀정도 제어 가능음 |
▶ CLEAN TUNNEL MODULE SYSTEM
- 반도체 정밀기기 공정 LINE에 적합한 SYSTEM이다.
- CLASS 1~100을 유지하며 작업공간과 통로의 ZONING 분리가 가능하다.
▶ 난류형 CLEAN ROOM의 모형도
(1) panel
(2) panel whit window
(3) panel whit dust-equipped
(4) panel whit wall outlet-equipped
(5) Transomed panel
(6) Ceiling panel
(7) Single-swing door
(8) Double-swing door
(9) Raceway
(10) Hanger
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(11) Return grill
(12) Return dust
(13) Inermediate filter
(14) Air-conditioner
(15) Air supply dust
(16) Hepa box
(17) Air shower
(18) Postitive-pressure damper
(19) Pass box
(20) Clean booth
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(21) Clean bench
(22) Lihting switches
(23) Fluorescent lamp
(24) Wash-stand
(25) Air towel
(26) Dressing lockers
(27) Intercom
(28) Floor
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항온항습기
공냉식
